- 单价超26亿:ASML新一代EUV光刻机上路
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芯研所5月21日消息,最新消息称,荷兰ASML正在研发新款光刻机,价值高达4亿美元(约合26亿元人民币),双层巴士大、重超200吨。原型机预计2023年
发布于:2022-05-21 13:20:45
- 阿斯麦ASML EUV光刻机是什么?
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《科创板日报》记者从ASML获悉,其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格,这是30mJ cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶
发布于:2020-10-15 09:57:26